Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө "нөлдүк кемчилик" талаптарынын барган сайын күчөп баратышынын шартында, Lijie 9 дюймдук аз хлорлуу нитрил кол каптары өзгөчө аз иондук калдыктары жана жогорку тазалык көрсөткүчтөрүнөн улам пластинаны иштетүүдө жана чиптерди таңгактоодо алмаштыргыс коргоочу каражат болуп калды. Адистештирилген иштетүү аркылуу кол каптын хлор курамы ≤50ppm деңгээлинде катуу көзөмөлдөнөт — бул 100ppm тармактык стандартынан бир топ ашып түшөт. Бул хлорид иондорунун пластина беттерине миграциясынан келип чыккан коррозия коркунучун натыйжалуу алдын алат, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн микроскопиялык булганууну көзөмөлдөө боюнча катуу талаптарына жооп берет.
Литография процесстеринде кол каптын тазалыгы фоторезисттик каптоонун тактыгына жана экспозициянын натыйжаларына түздөн-түз таасир этет. 100 000 класстагы таза бөлмөлөрдө өндүрүлгөн жана лазердик чаңды кетирүүгө дуушар болгон бул продукт беттик бөлүкчөлөрдүн эмиссиясын чарчы дюймга 0,2 бөлүкчөдөн төмөн көрсөтөт - бул ISO 3 класстагы таза бөлмө стандарттарына жооп берет. Бул микробөлүкчөлөрдүн пластина беттерине жабышып калышына жол бербейт, ошону менен литографиянын кемчиликтерин азайтат. 9 дюймдук узундуктагы дизайн билегинен алаканга чейин толук жабуу менен камсыз кылат. Ийкемдүү манжеттин түзүлүшү менен айкалышып, ал жеңдин оозунда чаңдын төгүлүшүнө жол бербөө менен бирге иштөөнүн ийкемдүүлүгүн камсыз кылат, литография процесстеринде динамикалык таза чөйрө үчүн катуу талаптарга жооп берет.
Оёо жана ион имплантациясы сыяктуу жогорку коррозияга дуушар болгон реагенттерди камтыган процесстерде бул кол каптар өзгөчө химиялык туруктуулукту көрсөтөт. Фторлуу суутек кислотасы жана фосфор кислотасы сыяктуу кеңири таралган жарым өткөргүч реагенттерде 24 сааттык чөмүлүү сыноосунан кийин, алар шишип же жарылып кетпейт, салмактын өзгөрүшүнүн ылдамдыгы 0,8% дан төмөн. Бул операторлор үчүн колду ишенимдүү коргоону камсыз кылат, ошол эле учурда кол каптын бузулушунан улам реагенттин булгануу коркунучун жок кылат. Манжалардын учтарында 0,02 мм лазер менен оюлуп жасалган тайгаланбаган текстуралар бар, бул 12 дюймдук пластиналарды кармоодо сүрүлүүнү 35% га жогорулатат жана пластинанын тайгалануу коркунучун 60% га азайтат. Бул коргоочу коопсуздук менен иштөөнүн туруктуулугунун ортосундагы тең салмактуулукка жетишет.
Учурда SEMI F57 стандарттары боюнча сертификацияланган бул кол каптар SMIC жана Hua Hong Semiconductor сыяктуу алдыңкы куюучу заводдордун массалык өндүрүш линияларында колдонулат. Алар кол менен тийүүдөн улам пайда болгон пластина калдыктарынын деңгээлин 38% га азайтат, бул таза бөлмөнү коргоо менен эксплуатациялык натыйжалуулукту тең салмактоо үчүн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө идеалдуу тандоо болуп саналат.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 11-ноябры